特高频法(又称为UHF法)是局放检测的一种新方法。经过研究分析发现，局部放电过程中，每一次都伴随着正负电荷的中和，沿放电通道将会出现过程非常短陡度非常大的脉冲电流产生，电流脉冲的陡度较大，辐射的电磁波信号的特高频分量较为丰富。经过实验证明，GIS、变压器等电力设备局部放电都能够激发出很高频率的电磁波，最高可达数GHz。利用天线传感器接收局放过程辐射的UHF电磁波，可以对局部放电情况进行检测。

特高频法检测的频段较高，能够有效的避开常规检测中的电晕、开关操作等电气干扰，检测灵敏度较高。

目前，UHF法的研究也面临着一些问题，由于测量机理与脉冲电流法不同，因此无法进行视在放电量的标定，而且一般外置式传感器灵敏度明显低于内置式，所以现场一般需要对现场变压器的结构上进行一些改动，一般是变压器预埋传感器开孔或利用放油阀将特高频传感器伸进变压器箱体，从而对这种检测方法的推广还存在一定的障碍。